Semiconductor manufacturing needs nanometer-level motion stability. Hydrostatic rotary tables provide non-contact, vibration-isolated rotation for wafer dicing, grinding, and precision lithography stages.
In der Halbleiterfertigung ruinieren schon submikrometer Schwingungen die Ausbeute. Ein hydrostatischer Tisch isoliert die Rotation auf einem Ölfilm und entfernt Reibung sowie Mikrovibrationen.
Der Marusaku-Tisch erreicht ±0,001 mm mit hoher Steifigkeit und Dämpfung — sauberes Wafersägen ohne Ausbrüche.
Kontaktfrei: kein Abrieb, kein Wachstum, nanometerstabile Bewegung für Reinraumprozesse.
In der Halbleiterfertigung ruinieren schon submikrometer Schwingungen die Ausbeute. Ein hydrostatischer Tisch isoliert die Rotation auf einem Ölfilm und entfernt Reibung sowie Mikrovibrationen.
Der Marusaku-Tisch erreicht ±0,001 mm mit hoher Steifigkeit und Dämpfung — sauberes Wafersägen ohne Ausbrüche.
Kontaktfrei: kein Abrieb, kein Wachstum, nanometerstabile Bewegung für Reinraumprozesse.
