Die Sub-Mikron-Grenze
Wälzlager erreichen schwer Sub-Mikron, weil Käfig und Kugeln periodische Fehler erzeugen. Die Hydrostatik entfernt die Kontaktstelle.
Werte
Radialrundlauf ≤0,1 μm (Spitze 0,02), Axialspiel <0,5 μm, Positioniergenauigkeit Tisch bis ±0,001 mm.
Warum kontaktfrei hilft
Keine Wälzkörper, also keine Käfigfehler und kein verschleißbedingter Drift. Die Geometrie wird von der Fläche vorgegeben und vom Film gehalten.
Wirkung
Sub-Mikron-Rundlauf verbessert Rundheit und Oberfläche—daher die Wahl für Optik, Halbleiter, Messtechnik.