Semiconductor manufacturing needs nanometer-level motion stability. Hydrostatic rotary tables provide non-contact, vibration-isolated rotation for wafer dicing, grinding, and precision lithography stages.
В микроэлектронике даже субмикронная вибрация при резке пластин снижает выход. Гидростатический стол изолирует вращение на масляной плёнке, убирая трение и микровибрации.
Стол Marusaku даёт ±0,001 мм и жёсткость выше роликовых подшипников с отличным демпфированием — ровная резка пластин без дробления.
Без контакта — нет стружки износа и теплового роста, стабильность на нанометровом уровне.
В микроэлектронике даже субмикронная вибрация при резке пластин снижает выход. Гидростатический стол изолирует вращение на масляной плёнке, убирая трение и микровибрации.
Стол Marusaku даёт ±0,001 мм и жёсткость выше роликовых подшипников с отличным демпфированием — ровная резка пластин без дробления.
Без контакта — нет стружки износа и теплового роста, стабильность на нанометровом уровне.
