Hydrostatic support delivers radial runout of ≤0.1 μm (high-end 0.02 μm) and rotary positioning accuracy up to ±0.001 mm. See how non-contact support enables sub-micron geometry.
Роликовые подшипники с трудом дают субмикрон из-за сепаратора и шаров. Гидростатика убирает контакт.
Радиальное биение ≤0,1 мкм (топ 0,02), осевой люфт <0,5 мкм, точность позиционирования стола до ±0,001 мм.
Нет тел качения — нет ошибок сепаратора и дрейфа от износа. Геометрия задана поверхностью и удержана плёнкой.
Субмикронное биение улучшает круглость и чистоту — выбор для оптики, полупроводников, измерений.
Роликовые подшипники с трудом дают субмикрон из-за сепаратора и шаров. Гидростатика убирает контакт.
Радиальное биение ≤0,1 мкм (топ 0,02), осевой люфт <0,5 мкм, точность позиционирования стола до ±0,001 мм.
Нет тел качения — нет ошибок сепаратора и дрейфа от износа. Геометрия задана поверхностью и удержана плёнкой.
Субмикронное биение улучшает круглость и чистоту — выбор для оптики, полупроводников, измерений.
