Масштабирование
MRDY-500 — тот же принцип на плите φ500 мм. Плёнка по-прежнему несёт стол, сохраняя точность.
Почему 500
Когда не нужен φ630 мм, 500 даёт те же плюсы (биение субмикрон, нет ползучести) в компактном корпусе.
Общее
Как в серии: мембранный дроссель, прямой привод, энкодер замкнутого цикла.