Đo lường cần chuyển động chuẩn
Độ chính xác CMM phụ thuộc chuyển động trục. Thủy tĩnh bỏ biên, bò và trôi bằng màng dầu.
Trục ổn định
Submicromet biên, không bò, giảm chấn — đường đầu dò mượt. Dầu thoát nhiệt đều.
Kết quả
CMM thủy tĩnh giữ chuẩn lâu hơn, hiệu chuẩn ít hơn.