Semiconductor manufacturing needs nanometer-level motion stability. Hydrostatic rotary tables provide non-contact, vibration-isolated rotation for wafer dicing, grinding, and precision lithography stages.
Trong bán dẫn, rung dưới micrôm khi cắt wafer làm hỏng năng suất. Bàn thủy tĩnh cách ly xoay trên màng dầu, loại bỏ ma sát và micro-rung.
Bàn Marusaku đạt ±0,001 mm, độ cứng cao và giảm chấn tốt — cắt wafer phẳng, không vỡ.
Không tiếp xúc nên không mòn, không giãn nhiệt, ổn định nanomet cho phòng sạch.
Trong bán dẫn, rung dưới micrôm khi cắt wafer làm hỏng năng suất. Bàn thủy tĩnh cách ly xoay trên màng dầu, loại bỏ ma sát và micro-rung.
Bàn Marusaku đạt ±0,001 mm, độ cứng cao và giảm chấn tốt — cắt wafer phẳng, không vỡ.
Không tiếp xúc nên không mòn, không giãn nhiệt, ổn định nanomet cho phòng sạch.
