Hydrostatic support delivers radial runout of ≤0.1 μm (high-end 0.02 μm) and rotary positioning accuracy up to ±0.001 mm. See how non-contact support enables sub-micron geometry.
Ổ lăn khó đạt sub-micron do sep và bi. Thủy tĩnh bỏ hẳn tiếp xúc.
Đồng tâm radial ≤0,1 μm (cao 0,02), dọc trục <0,5 μm, định vị bàn đến ±0,001 mm.
Không con lăn — không lỗi tần số sep, không drift mòn. Hình học do bề mặt, giữ bởi màng.
Đồng tâm sub-micron cải thiện tròn, trụ và bề mặt — chọn cho quang học, bán dẫn, đo lường.
Ổ lăn khó đạt sub-micron do sep và bi. Thủy tĩnh bỏ hẳn tiếp xúc.
Đồng tâm radial ≤0,1 μm (cao 0,02), dọc trục <0,5 μm, định vị bàn đến ±0,001 mm.
Không con lăn — không lỗi tần số sep, không drift mòn. Hình học do bề mặt, giữ bởi màng.
Đồng tâm sub-micron cải thiện tròn, trụ và bề mặt — chọn cho quang học, bán dẫn, đo lường.
