Thách thức
Gương phi cầu cần dạng nanomet. Rung và nhiệt làm hỏng bề mặt.
Giải pháp
Bàn thủy tĩnh cách ly phôi trên màng 3,5–4 MPa, giảm chấn và giữ nhiệt. Marusaku: ±0,001 mm và màng khí.
Kết quả
Quang học cắt dạng nanomet lặp lại tốt. Không biên, không bò, không trôi.