Thu nhỏ
MRDY-500 cùng nguyên lý trên mặt φ500 mm. Màng vẫn nâng bàn, giữ độ chính xác.
Tại sao 500
Khi không cần φ630 mm, 500 cho cùng lợi ích (đồng tâm submicromet, không bò) gọn hơn.
Chung
Như series: tiết lưu màng, trực truyền, encoder vòng kín.
The MRDY-500 brings the same hydrostatic direct-drive principle to a smaller φ500 mm platform—ideal where space is tight but sub-micron rotary accuracy is still required.
MRDY-500 cùng nguyên lý trên mặt φ500 mm. Màng vẫn nâng bàn, giữ độ chính xác.
Khi không cần φ630 mm, 500 cho cùng lợi ích (đồng tâm submicromet, không bò) gọn hơn.
Như series: tiết lưu màng, trực truyền, encoder vòng kín.
MRDY-500 cùng nguyên lý trên mặt φ500 mm. Màng vẫn nâng bàn, giữ độ chính xác.
Khi không cần φ630 mm, 500 cho cùng lợi ích (đồng tâm submicromet, không bò) gọn hơn.
Như series: tiết lưu màng, trực truyền, encoder vòng kín.