径向跳动与径向 精度: ≤0.1 μm采用静压 支撑

Key Takeaways:

Hydrostatic support delivers radial runout of ≤0.1 μm (high-end 0.02 μm) and rotary positioning accuracy up to ±0.001 mm. See how non-contact support enables sub-micron geometry.

径向跳动与径向 精度: ≤0.1 μm采用静压 支撑
Tags:
hydrostatic runout radial accuracy 0.1 micron sub-micron bearing rotary positioning accuracy hydrostatic precision
Available Languages
🇷🇺 Русский

Биение и радиальная точность: ≤0,1 мкм при гидростатической опоре

Барьер субмикрона

Роликовые подшипники с трудом дают субмикрон из-за сепаратора и шаров. Гидростатика убирает контакт.

Цифры

Радиальное биение ≤0,1 мкм (топ 0,02), осевой люфт <0,5 мкм, точность позиционирования стола до ±0,001 мм.

Почему помогает

Нет тел качения — нет ошибок сепаратора и дрейфа от износа. Геометрия задана поверхностью и удержана плёнкой.

Эффект

Субмикронное биение улучшает круглость и чистоту — выбор для оптики, полупроводников, измерений.

🇻🇳 Tiếng Việt

Đồng tâm và độ chính xác radial: ≤0,1 μm với thủy tĩnh

Rào cản dưới micromet

Ổ lăn khó đạt sub-micron do sep và bi. Thủy tĩnh bỏ hẳn tiếp xúc.

Số liệu

Đồng tâm radial ≤0,1 μm (cao 0,02), dọc trục <0,5 μm, định vị bàn đến ±0,001 mm.

Tại sao

Không con lăn — không lỗi tần số sep, không drift mòn. Hình học do bề mặt, giữ bởi màng.

Tác dụng

Đồng tâm sub-micron cải thiện tròn, trụ và bề mặt — chọn cho quang học, bán dẫn, đo lường.

🇫🇷 Français

Défaut de marche et précision radiale : ≤0,1 μm en hydrostatique

La barrière du sous-micron

Les roulements peinent à atteindre le sous-micron à cause du cage et des billes. L'hydrostatique supprime le contact.

Valeurs

Défaut radial ≤0,1 μm (haut de gamme 0,02), jeu axial <0,5 μm, précision de positionnement du plateau jusqu'à ±0,001 mm.

Pourquoi sans contact

Pas de corps roulants, donc pas d'erreur de cage ni de dérive d'usure. La géométrie est donnée par la surface et maintenue par le film.

Impact

Le défaut sous-micron améliore la circularité et l'état de surface—d'où le choix pour optique, semi-conducteurs, métrologie.

🇩🇪 Deutsch

Rundlauf und Radialgenauigkeit: ≤0,1 μm mit Hydrostatik

Die Sub-Mikron-Grenze

Wälzlager erreichen schwer Sub-Mikron, weil Käfig und Kugeln periodische Fehler erzeugen. Die Hydrostatik entfernt die Kontaktstelle.

Werte

Radialrundlauf ≤0,1 μm (Spitze 0,02), Axialspiel <0,5 μm, Positioniergenauigkeit Tisch bis ±0,001 mm.

Warum kontaktfrei hilft

Keine Wälzkörper, also keine Käfigfehler und kein verschleißbedingter Drift. Die Geometrie wird von der Fläche vorgegeben und vom Film gehalten.

Wirkung

Sub-Mikron-Rundlauf verbessert Rundheit und Oberfläche—daher die Wahl für Optik, Halbleiter, Messtechnik.

Sub-Micron Barrier

滚动 轴承 struggle以reach sub-micron 径向 精度 because cages, balls,与raceways introduce periodic error motions. 静压 支撑 去除 contact interface entirely.

Hydrostatic runout

典型 Figures

  • 径向跳动 /跳动: ≤0.1 μm (high-end designs reach 0.02 μm)
  • 轴向 float: <0.5 μm
  • 回转定位精度 (回转 tables): up以±0.001 mm

为何 无接触 Helps

与 no 滚动 elements, there为no cage-frequency error 运动, no ball-spin variation,与no wear-induced drift. geometry为set by machined 轴承 surface与held by 油膜—stable over full life.

Practical Impact

Sub-micron 径向跳动 directly improves 圆度, cylindricity,与surface texture的 machined part, which为为何 静压 主轴与回转 tables为chosen用于optics, semiconductors,与精度 measurement.